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商品NO 1838 商品名 真空蒸着装置 メーカー (株)真空デバイス 管理 (株)真空デバイス
型式 VE-2012 価格 商品問合せ
特徴 TMP を筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません。RP は床置き。
小型 TMP+RP の排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。複雑な排気操作を廃し、スイッチの ON/OFF のみのシンプルな操作系。
タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。カーボン蒸着はシャープペンシル型替え芯をカーボンとして蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。
カタログ
仕様 電源: AC100V(単相100V15A)
装置サイズ: W400mmxD425mmxH546mm
装置重量: 25kg
ロータリーポンプ(外置): G-50DA、ポンプ重量11kg
排気系: TMP67ℓ/sec、RP50ℓ/min
試料ステージ: 直径72mm
蒸着源-試料台間隔: 0mm~140mmの範囲で調整可能
備考 φ5mm カーボンロッドは使用出来ません。
ご購入の際に、カーボン蒸着電極、又は金属蒸着電極を選択致します。オプションにより、追加で電極の購入も可能です。
管理NO

外観写真

カーボン蒸着電極: Φ0.5mmカーボン専用のカーボン蒸着電極です。 高真真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。 付属の汚れ防止カバーにより、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。 カーボン蒸着源には、専用カーボンSLC-30がお勧めです。

金属蒸着電極: タングステンバスケット専用の、金属蒸着電極です。 金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。付属の汚れ防止カバーにより、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。